真空镀膜不良之膜脏原因及对策

膜脏（也称白压克）
顾名思义，膜层有脏。一般的膜脏发生在膜内或膜外。脏可以包括：灰尘点、白雾、油斑、指纹印、口水点等。（灰尘点和白雾单列）
改善思路：检讨过程，杜绝脏污染。
改善对策：
㈠ 送交洗净或擦拭的镜片不要有过多的不良附着物；
㈡ 加强镀前镜片的洗净率或擦净率；
㈢ 改善上伞后待镀镜片的摆放环境，防治污染；
㈣ 养成上伞作业员的良好习惯，防治镜片污染（指纹印、口水点及其它）；
㈦ 加快真空室护板更换周期；
㈧ 充气管道清洁，防治气体充入时污染；
㈨ 初始排气防涡流（湍流），初始充气防过冲；
㈩ 镜片摆放环境和搬运过程中避免油污、水汽（磨边、超声波清洗）污染。
（十一） 工作环境改造成洁净车间
（十二） 将镀膜机作业面板和主机隔开，减少主机产生的有害物质污染镜片。
1、灰点脏
现象：镜片膜层表面或内部有一些点子（不是膜料点）有些可以擦除，有的不能擦除。并且会有点状脱膜产生。
产生原因：
1、真空室脏，在开始抽真空时的空气涡流将真空室底板、护板的脏灰带到镜片上，形成灰点层。（膜内，不能擦除，会有点状脱膜）
2、镜圈或碟片脏，有浮点灰尘，在离子束作用下附着到了镜片上形成灰点层。（膜内，不能擦除，会有点状脱膜）
3、镜片上伞时就有灰尘点，上伞时没有检查挑选。（膜内，不能擦除，会有点状脱膜）
4、镀制完成后的环境污染是膜外灰点的主要成因，特别是当镜片热的时候，更容易吸附灰尘，而且难以擦除。（膜外）
5、真空室充气口环境脏、开始充气量过大、充气过滤器脏，充气时镜片温度过高也是造成镜片膜外灰尘点不良的原因。（膜外）
6、作业员人为带来的灰尘污染（膜内膜外）
7、工作环境中灰尘过多
改善思路：杜绝灰尘源
改善对策：
㈠ 工作环境改造洁净车间，严格按洁净车间规范实施。
㈡尽可能做好环境卫生。尽量利用洁净工作台。
㈢真空室周期打扫，保持清洁。
2、膜外白雾
现象：镀膜完成后，表面有一些淡淡的白雾，用丙酮或混合液擦拭，会有越擦越严重的现象。用氧化铈粉擦拭，可以擦掉或减轻，（又称：可擦拭压克）
分析：膜外白雾的成因较为复杂，可能的成因有：
① 膜结构问题：外层膜的柱状结构松散，外层膜太粗糙；
② 蒸发角过大，膜结构粗糙。
③ 温差：镜片出罩时内外温差过大
④ 潮气；镜片出罩后摆放环境的潮气
⑤ 真空室内POLYCOLD解冻时水汽过重
⑥ 蒸镀中充氧不完全，膜结构不均匀
⑦ 膜与膜之间的应力
改善思路：膜外白雾成因很多，但各有些特征，尽量对症下药。主要思路，一是把膜做的致密光滑些不容易吸附，二是改善环境减少吸附的对象。
改善对策：
㈠ 改善膜系，外层加二氧化硅，使膜表面光滑，不易吸附。改善镜片出罩时的环境（干燥、清洁）
㈡ 降低出罩时的镜片温度（延长在真空室的冷却时间）减少温差、降低应力。
㈢ 改善充氧（加大），改善膜结构。
㈣ 适当降低蒸发速率，改善柱状结构
㈤ 离子辅助镀膜，改善膜结构
㈥ 加上polycold解冻时的小充气阀（其功能是及时带走水汽）
㈦ 从蒸发源和夹具上想办法改善蒸发角。
㈧ 改善基片表面粗糙度。
㈨ 注意polycold解冻时的真空度。
3、膜内白雾
白雾形成在膜内，无法用擦拭方法祛除。
可能的成因：
① 基片脏，附着前工程的残留物
② 镜片表面腐蚀污染
③ 膜料与膜料之间、膜料与基片之间的匹配。
④ 氧化物充氧不够。
⑤ 第一层氧化锆膜料，可能对某些基片产生白晕现象
⑥ 基片进罩前（洗净后）受潮气污染
⑦ 洗净或擦拭不良，洗净痕迹、擦拭痕迹
⑧ 真空室脏、水气过重
⑨ 环境湿度大
改善思路：基片本身的问题可能是主要的，镀膜是尽量弥补，镀膜本身最大的可能是膜料匹配问题。
改善对策：
㈠改进膜系，第一层不用氧化锆。
㈡尽量减少真空室开门时间，罩与罩之间在最短的时间内做好真空室的清洁、镀膜准备工作。
㈢真空室在更换护板、清洁后，最好能空罩抽真空烘烤一下，更换的护板等真空室部件必须干燥、干净。
㈣改善环境
㈤妥善保护进罩前在伞片上的镜片，免受污染。
㈥改善洗净、擦拭效果。
㈦改善膜匹配（考虑第一层用Al2O3）
㈧改善膜充氧和蒸发速率（降低）
㈨加快前工程的流程。前工程对已加工光面的保护加强。
㈩抛光加工完成的光面，必须立即清洁干净，不能有抛光粉或其他杂质附着干结。